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一种用于在绝缘体硅（ＳＯＩ）晶片结构中形成的光电器件的晶片级测试装置，其使用单光电测试元件来执行光和电测试。波束调向光学器件可在所述测试元件上形成，且用于帮助光探针信号和光耦合元件（例如棱镜耦合器、光栅）间的耦合，所述光耦合器件在所述ＳＯＩ...
该专利属于斯欧普迪克尔股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过斯欧普迪克尔股份有限公司授权不得商用。

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