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文档序号:2631605
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探针(20)包括:悬臂(21)、柱状部(22)以及顶部(23),以在悬臂(21)的一端悬臂支承的方式形成柱状部(22),在柱状部(22)的顶端形成有顶部(23)。柱状部(22)的高度大于顶部(23)的高度,选择柱状部(22)与顶部(23)的...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。
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