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具有硅上腔桥的分解的管芯互连制造技术
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文档序号:26306472
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实施例公开了具有管芯组件的电子封装以及形成这种电子封装的方法。在实施例中,管芯组件包括:第一管芯;第二管芯,与第一管芯在横向上相邻。在实施例中,第一管芯和第二管芯均包括:第一半导体层;绝缘体层,在第一半导体层上方;第二半导体层,在绝缘体层上...
该专利属于英特尔公司所有,仅供学习研究参考,未经过英特尔公司授权不得商用。
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