下载一种具有防护功能的离子源的导磁套筒结构的技术资料

文档序号:26306368

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本发明提供了一种具有防护功能的离子源的导磁套筒结构,导磁套筒结构设置在离子源的放电通道的底部,导磁套筒结构包括内导磁套筒、环形导磁板、外导磁套筒和防护罩,内导磁套筒和外导磁套筒同轴嵌套布置,且内导磁套筒的底部与外导磁套筒的底部平齐设置,内导...
该专利属于哈尔滨工业大学;哈工大机器人(岳阳)军民融合研究院所有,仅供学习研究参考,未经过哈尔滨工业大学;哈工大机器人(岳阳)军民融合研究院授权不得商用。

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