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本发明涉及一种探针卡，其包括：多个探针模块、位于探针模块下方的多层陶瓷基板、用于电性连接探针模块与多层陶瓷基板的焊球。其中，焊球高度按其位置而异。采用本发明的探针卡及其制造方法，即使多层陶瓷基板的平整度不一致，或者在组装探针卡过程中多层陶瓷...
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