温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开一种半导体设备的观察窗组件，包括观察窗本体、遮挡板、连接部和限位部，观察窗本体具有安装面，遮挡板可滑动地设置于安装面，遮挡板开设有条形孔，连接部的第一端与条形孔背离安装面的端口限位配合，连接部的第二端穿过条形孔、且与观察窗本体...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。