半导体设备及其观察窗组件制造技术

本实用新型专利技术公开一种半导体设备的观察窗组件，包括观察窗本体、遮挡板、连接部和限位部，观察窗本体具有安装面，遮挡板可滑动地设置于安装面，遮挡板开设有条形孔，连接部的第一端与条形孔背离安装面的端口限位配合，连接部的第二端穿过条形孔、且与观察窗本体相连，观察窗本体的侧壁上开设有限位槽，条形孔沿朝向限位槽的方向延伸，限位部的第一端与遮挡板相连，限位部的第二端可与限位槽配合限位。本实用新型专利技术还公开一种半导体设备。本方案解决现有的半导体设备中，通过观察窗观察反应腔室内气体的反应情况时需要较繁琐的操作的问题。

【技术实现步骤摘要】
半导体设备及其观察窗组件
本技术涉及半导体设备
，尤其涉及一种半导体设备及其观察窗组件。
技术介绍
在半导体设备中，通常将射频电源提供的射频能量传输到反应腔室中，以此电离高真空状态下的特殊气体(如氩气Ar、氦气He、氮气N2或氢气H2等)，从而产生含有大量的电子、离子、激发态的原子、分子和自由基等活性粒子的等离子体，这些活性粒子与置于反应腔室并暴露在等离子体环境下的晶圆之间发生多种物理和化学反应，从而使晶圆表面的性能产生变化，进而完成晶圆的刻蚀工艺。通常情况下，半导体设备的反应腔室设置有观察窗，工作人员可通过观察窗观察反应腔室内气体的反应情况。具体的，观察窗包括观察窗本体和遮挡板，遮挡板通过至少三个固定螺钉和内衬螺钉固定于观察窗本体，当工作人员需要观察反应腔室内气体的反应情况时，首先拧松内衬螺钉，然后将固定螺钉全部拆除，进一步地，推动遮挡板使其绕内衬螺钉转动，在观察窗本体的至少部分外露于外界环境的情况下，通过固定螺钉将遮挡板固定于此位置，以使用户能够通常观察窗观察反应腔室内气体的反应情况；当完成观察工作后，工作人员需要依次装回拆除本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种半导体设备的观察窗组件，其特征在于，包括观察窗本体(100)、遮挡板(200)、连接部(300)和限位部(400)，所述观察窗本体(100)具有安装面，所述遮挡板(200)可滑动地设置于所述安装面，所述遮挡板(200)开设有条形孔(210)，所述连接部(300)的第一端与所述条形孔(210)背离所述安装面的端口限位配合，所述连接部(300)的第二端穿过所述条形孔(210)、且与所述观察窗本体(100)相连，所述观察窗本体(100)的侧壁上开设有限位槽(110)，所述条形孔(210)沿朝向所述限位槽(110)的方向延伸，所述限位部(400)的第一端与所述遮挡板(200)相连，所述限位部(...

【技术特征摘要】
1.一种半导体设备的观察窗组件，其特征在于，包括观察窗本体(100)、遮挡板(200)、连接部(300)和限位部(400)，所述观察窗本体(100)具有安装面，所述遮挡板(200)可滑动地设置于所述安装面，所述遮挡板(200)开设有条形孔(210)，所述连接部(300)的第一端与所述条形孔(210)背离所述安装面的端口限位配合，所述连接部(300)的第二端穿过所述条形孔(210)、且与所述观察窗本体(100)相连，所述观察窗本体(100)的侧壁上开设有限位槽(110)，所述条形孔(210)沿朝向所述限位槽(110)的方向延伸，所述限位部(400)的第一端与所述遮挡板(200)相连，所述限位部(400)的第二端可与所述限位槽(110)配合限位；
在所述遮挡板(200)处于第一状态的情况下，所述限位部(400)的第二端与所述限位槽(110)限位配合，且所述遮挡板(200)覆盖于所述观察窗本体(100)，在所述遮挡板(200)处于第二状态的情况下，所述限位部(400)的第二端滑出所述限位槽(110)、且所述遮挡板(200)可绕所述连接部(300)转动。


2.根据权利要求1所述的观察窗组件，其特征在于，所述条形孔(210)背离所述安装面的端口所在的表面开设有凹陷(211)，所述连接部(300)的第一端位于所述凹陷(211)内。


3.根据权利要求1所述的观察窗组件，其特征在于，所述遮挡板(200)为椭圆形板状结构，所述条形孔(210)沿所述椭圆形板状结构的长轴方向延伸。


4.根据权利要求1所述的观察窗组件，其特征在于，所述遮挡板(200)开设有第一螺纹孔(220)，所述限位部(400)的第一端与所述第一螺纹孔(220)可拆卸连接。


5.根据权利要求1所述的观察窗组件，...

【专利技术属性】
技术研发人员：贺斌，
申请(专利权)人：北京北方华创微电子装备有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11