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本实用新型提供一种冷却装置及半导体加工设备，该冷却装置用于冷却晶圆，包括冷却腔以及检测组件，其中，冷却腔中设置有至少一个用于承载晶圆的承载位；检测组件设置于冷却腔的侧壁上，且检测组件与承载位数量相同并一一对应设置，且对应设置的检测组件与承载...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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