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垂直探针卡和空气冷却探针头系统技术方案
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文档序号:2629007
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一种探针卡,其在加热环境中被垂直地安装成大致正交于接受寿命测试的晶片,以限制探针卡暴露到来自于晶片夹盘的热量。该探针卡及探针头组件被安装到支撑轨道上,该支撑轨道具有一个或多个通道,用于使冷空气流到探针头组件及探针卡,且同时其保护挠曲电缆不受...
该专利属于夸利陶公司所有,仅供学习研究参考,未经过夸利陶公司授权不得商用。
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