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一种量程可达２００万ｍ／ｓ↑［２］的微机械加速度传感器，其特征在于： （１）它由锚区、敏感薄板、质量块、压敏电阻、框架及上、下玻璃盖板构成； （２）由锚区、敏感薄板、质量块、压敏电阻构成的敏感芯片（Ａ）封装在框架中，并且上、下玻...该专利属于中国科学院上海微系统与信息技术研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院上海微系统与信息技术研究所授权不得商用。
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一种量程可达２００万ｍ／ｓ↑［２］的微机械加速度传感器，其特征在于： （１）它由锚区、敏感薄板、质量块、压敏电阻、框架及上、下玻璃盖板构成； （２）由锚区、敏感薄板、质量块、压敏电阻构成的敏感芯片（Ａ）封装在框架中，并且上、下玻...