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描述一种用于生产柔性装置的方法。所述方法包括：提供支撑基板(10)；使支撑基板(10)涂布有可分解粘附层(12)；在粘附层(12)上提供具有微结构的装置(20)；将柔性基板(30)贴附于装置(20)；以及分解粘附层(12)以移除支撑基板。...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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