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此处提供使用于工艺腔室中的两件式快门盘组件。在一些实施例中，使用于工艺腔室中的快门盘组件包括：上部盘构件，所述上部盘构件具有顶部表面及底部表面，其中在底部表面的中心中形成中心对齐凹部；以及下部载具构件，所述下部载具构件具有：固体基底，所述固...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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