温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

提供了用于图案化膜堆叠的方法。在一个实施方式中，一种用于图案化设置在基板上的膜堆叠的方法包括以下步骤：执行第一蚀刻工艺以蚀刻设置在基板上的膜堆叠，其中所述膜堆叠包括设置在上层上的图案化的光刻胶层，所述上层位于设置在所述基板上的下层上，其中所...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。