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本发明的试样观察装置(1)中，在设照射光学系统(3)的光轴P1与扫描面K的法线P3所成的角度为θ1、成像光学系统(5)的光轴P2与扫描面K的法线P3所成的角度为θ2时，θ1、θ2均为80°以下，且θ1+θ2为100°以上，在图像获取部(6)...
该专利属于浜松光子学株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过浜松光子学株式会社授权不得商用。

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