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角速度传感器制造技术
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文档序号:2626166
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一种角速度传感器,通过4个质量部相互以逆相位振动使质量部的振动状态稳定,并提高检测精度和可靠性。其特征在于,由外侧支持梁(12)连接质量部(2、6、10、11),由固定部(14)将该支持梁(12)中与质量部(2、11)和质量部(6、10)以...
该专利属于株式会社村田制作所所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社村田制作所授权不得商用。
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