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具有传感器芯片和电路芯片的物理量传感器制造技术
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下载具有传感器芯片和电路芯片的物理量传感器的技术资料
文档序号:2625904
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一种物理量传感器包括:电路芯片(200);以及通过粘合层(300)配置在电路芯片(200)上的传感器芯片(100)。传感器芯片(100)包括:支持衬底(11);可移动电极(24);以及面对可移动电极(24)/其间具有检测距离的一对固定电极(...
该专利属于株式会社电装所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社电装授权不得商用。
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