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本发明提供一种样品制备方法及装置，对3D‑NAND存储器截面上的待检测层做出标记，待检测层位于3D‑NAND存储器衬底上，截面为垂直于衬底方向的表面；沿着截面的垂直方向且平行于衬底的方向提取样品，样品包括待检测层；根据标记对样品进行减薄，以...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。

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