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本发明涉及一种微纳结构的惯性传感器本体包括：硅基底和在其上设置的绝缘层，２个条带形电极设置在绝缘层上部的两边；２组一维纳米材料的谐振梁分别搭放在质量块与第一电极，和质量块与第二电极之间，或一组谐振梁经过质量块从第一电极搭到第二电极上，谐振梁...
该专利属于清华大学所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学授权不得商用。

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