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本发明提供一种用于单晶硅生长炉的复合隔热结构，包括支撑层以及制备在所述支撑层上的层叠结构，所述层叠结构包括第一折射层和第二折射层，所述第一折射层的折射率与所述第二折射层的折射率不同，所述第一折射层和所述第二折射层相互交替设置；在此基础上，本...该专利属于中国科学院上海微系统与信息技术研究所;上海新昇半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院上海微系统与信息技术研究所;上海新昇半导体科技有限公司授权不得商用。