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本发明提供了一种磁控溅射镀膜装置，所述镀膜装置包括镀膜腔室、镀膜辊及多个旋转阴极，所述镀膜腔室包括多个子镀膜腔室，多个所述子镀膜腔室围绕所述镀膜辊周缘设置，每一所述子镀膜腔室内至少有一个所述旋转阴极。所述旋转阴极包括圆柱状的本体，装于所述本...
该专利属于南昌欧菲显示科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过南昌欧菲显示科技有限公司授权不得商用。

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