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加速度传感器制造技术
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文档序号:2625455
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加速度传感器1包括:具有平行于XY平面的XY基板面的基台2;以悬浮在基台2的XY基板面上的状态配置的框状的梁部4;通过支持部5a及5b、将梁部4以双支撑梁状支持在基台2上的梁部支持固定部;以悬浮在基台2的XY基板面上的状态配置的锤部7(7a...
该专利属于株式会社村田制作所所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社村田制作所授权不得商用。
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