加速度传感器制造技术

加速度传感器１包括：具有平行于ＸＹ平面的ＸＹ基板面的基台２；以悬浮在基台２的ＸＹ基板面上的状态配置的框状的梁部４；通过支持部５ａ及５ｂ、将梁部４以双支撑梁状支持在基台２上的梁部支持固定部；以悬浮在基台２的ＸＹ基板面上的状态配置的锤部７（７ａ、７ｂ）；以及将锤部７（７ａ、７ｂ）以悬臂梁状支持在梁部４上的连接部８。锤部７形成能够因框状的梁部４的弯曲变形而在Ｘ轴方向及Ｙ轴方向及Ｚ轴方向的三轴方向产生位移的结构。在梁部４设置根据因Ｘ轴方向的加速度所引起的锤部７的位移而引起的梁部４的弯曲变形、来检测加速度用的Ｘ轴方向加速度检测部；根据因Ｙ轴方向的加速度所引起的锤部７的位移而引起的梁部４的弯曲变形的Ｙ轴方向加速度检测部；以及根据因Ｚ轴方向的加速度所引起的锤部７的位移而引起的梁部４的弯曲变形的Ｚ轴方向加速度检测部。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及能够检测互相正交的X轴方向及Y轴方向及Z轴方向的三轴方向的加速度的加速度传感器。
技术介绍
图15a中利用示意的立体图来表示加速度传感器的一个例子(例如参照专利文献1)。该加速度传感器40具有：框部41；配置在该框部41的中心部分的圆柱状的重锤体42；从该重锤体42的X轴方向的两侧分别沿X轴方向向着框部41伸长形成的X轴方向梁部43a及43b；从该重锤体42的Y轴方向的两侧分别沿Y轴方向向着框部41伸长形成的Y轴方向梁部44a及44b；与重锤体42连接的4个辅助重锤体45a～45d；在X轴方向梁部43a及43b上形成的电阻元件Rx1～Rx4及Rz1～Rz4；以及在Y轴方向梁部44a及44b上形成的电阻元件Ry1～Ry4。在图15a所示的加速度传感器40的结构中，X轴方向梁部43a及43b的中心轴配置在通过圆柱状的重锤体42的中心轴、沿X轴方向延伸的同一直线上，另外，Y轴方向梁部44a及44b的中心轴配置在通过重锤体42的中心轴、沿Y轴方向延伸的同一直线上。这些X轴方向梁部43a及43b和Y轴方向梁部44a及44b分别构成能够弯曲变形的结构。电阻元件Rx1及Rx2在X轴本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种加速度传感器，其特征在于，包括：具有平行于包含互相正交的Ｘ轴及Ｙ轴及Ｚ轴中的Ｘ轴及Ｙ轴的ＸＹ平面的ＸＹ基板面的基台；以悬浮在该基台的ＸＹ基板面上的状态配置的框状的梁部；通过从该梁部沿Ｘ轴方向向梁部的两侧分别向外伸 长形成的支持部，将梁部以双支撑梁状支持在基台上的梁部支持固定部；以悬浮在所述基台的ＸＹ基板面上的状态，从所述梁部的Ｙ轴方向的两侧分别沿Ｙ轴方向向外伸长形成的连接部；以及分别与各连接部的伸长前端部连接的锤部，所述锤部形 成能够因框状梁部的变形而沿Ｘ轴方向及Ｙ轴方向及Ｚ轴方向的三轴方向位移的结...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】JP 2005-4-6 PCT/JP2005/0067831.一种加速度传感器，其特征在于，包括：具有平行于包含互相正交的X轴及Y轴及Z轴中的X轴及Y轴的XY平面的XY基板面的基台；以悬浮在该基台的XY基板面上的状态配置的框状的梁部；通过从该梁部沿X轴方向向梁部的两侧分别向外伸长形成的支持部，将梁部以双支撑梁状支持在基台上的梁部支持固定部；以悬浮在所述基台的XY基板面上的状态，从所述梁部的Y轴方向的两侧分别沿Y轴方向向外伸长形成的连接部；以及分别与各连接部的伸长前端部连接的锤部，所述锤部形成能够因框状梁部的变形而沿X轴方向及Y轴方向及Z轴方向的三轴方向位移的结构，在所述梁部设置根据因锤部的X轴方向位移而引起的梁部的弯曲变形来检测X轴方向的加速度用的X轴方向加速度检测部；根据因锤部的Y轴方向位移而引起的梁部的弯曲变形来检测Y轴方向的加速度用的Y轴方向加速度检测部；以及根据因锤部的Z轴方向位移而引起的梁部的弯曲变形来检测Z轴方向的加速度用的Z轴方向加速度检测部。2.如权利要求1所述的加速度传感器，其特征在于，从梁部的X轴方向的两侧分别沿X轴方向伸长形成的各支持部的中心轴配置在同一直线上，另外，从梁部的Y轴方向的两侧分别沿Y轴方向伸长形成的各支持部的中心轴配置在同一直线上，梁部相对于通过支持部的中心轴的X方向中心轴为对称形状，而且，相对于通过连接部的中心轴的Y方向中心轴为对称形状。3.如权利要求1所述的加速度传感器，其特征在于，设置在梁部的Z轴方向加速度检测部及Y轴方向加速度检测部及X轴方向加速度检测部，分别具有利用因梁部的变形所引起的梁部的应力变化使电阻值变化的压电电阻部而构成。4.如权利要求2所述的加速度传感器，其特征在于，设置在梁部的Z轴方向加速度检测部及Y轴方向加速度检测部及X轴方向加速度检测部，分别具有利用因梁部的变形所引起的梁部的应力变化使电阻值变化的压电电阻部而构成。5.如权利要求3所述的加速度传感器，其特征在于，X轴方向加速度检测部具有分别配置在从各连接部分别以该连接部的宽度向梁部区域沿Y轴方向延长的连接部侧带状梁部部位的带宽两侧的共计4个压电电阻部；配置在各连接部侧带状梁部部位的带宽两侧的所述压电电阻部彼此之间电连接，形成2个电压检测部；X轴方向加速度检测部的4个压电电阻部构成电桥电路，所述电桥电路用来根据在因X轴方向的加速度而引起梁部变形时从所述2个电压检测部分别输出的电压之差来检测X轴方向的加速度，Y轴方向加速度检测部具有分别配置在从各支持部分别以该支持部的宽度向梁部区域沿X轴方向延长的支持部侧带状梁部部位的带宽两侧的共计4个压电电阻部；分别配置在各支持部侧带状梁部部位的带宽两侧的所述压电电阻部彼此之间电连接，形成2个电压检测部；Y轴方向加速度检测部的4个压电电阻部构成电桥电路，所述电桥电路用来根据在因Y轴方向的加速度而引起梁部变形时从所述2个电压检测部分别输出的电压之差来检测Y轴方向的加速度，Z轴方向加速度检测部具有在产生加速度时没有应力变化的其它部分形成的2个压电电阻部、以及分别配置在各支持部侧带状梁部部位的单侧的共计4个压电电阻部；相邻配置的所述压电电阻部彼此之间电连接，形成2个电压检测部；Z轴方向加速度检测部的4个压电电阻部构成电桥电路，所述电桥电路用来根据在因Z轴方向的加速度而引起梁部变形时从所述2个电压检测部分别输出的电压之差来检测Z轴方向的加速度。6.如权利要求4所述的加速度传感器，其特征在于，X轴方向加速度检测部具有分别配置在从各连接部分别以该连接部的宽度向梁部区域沿Y轴方向延长的连接部侧带状梁部部位的带宽两侧的共计4个压电电阻部；配置在各连接部侧带状梁部部位的带宽两侧的所述压电电阻部彼此之间电连接，形成2个电压检测部；X轴方向加速度检测部的4个压电电阻部构成电桥电路，所述电桥电路用来根据在因X轴方向的加速度而引起梁部变形时从所述2个电压检测部分别输出的电压之差来检测X轴方向的加速度，Y轴方向加速度检测部具有分别配置在从各支持部分别以该支持部的宽度向梁部区域沿X轴方向延长的支持部侧带状梁部部位的带宽两侧的共计4个压电电阻部；分别配置在各支持部侧带状梁部部位的带宽两侧的所述压电电阻部彼此之间电连接，形成2个电压检测部；Y轴方向加速度检测部的4个压电电阻部构成电桥电路，所述电桥电路用来根据在因Y轴方向的加速度而引起梁部变形时从所述2个电压检测部分别输出的电压之差来检测Y轴方向的加速度，Z轴方向加速度检测部具有在产生加速度时没有应力变化的其它部分形成的2个压电电阻部、以及分别配置在各支持部侧带状梁部部位的单侧的共计4个压电电阻部；相邻配置的所述压电电阻部彼此之间电连接，形成2个电压检测部；Z轴方向加速度检测部的4个压电电阻部构成电桥电路，所述电桥电路用来根据在因Z轴方向的加速度而引起梁部变形时从所述2个电压检测部分别输出的电压之差来检测Z轴方向的加速度。7.如权利要求1所述的加速度传感器，其特征在于，框状梁部的Z轴方向的厚度遍及整个部分相等或实质上相等。8.如权利要求2所述的加速度传感器，其特征在于，框状梁部的Z轴方向的厚度遍及整个部分相等或实质上相等。9.如权利要求3所述的加速度传感器，其特征在于，框状梁部的Z轴方向的厚度遍及整个部分相等或实质上相等。10.如权利要求4所述的加速度传感器，其特征在于，框状梁部的Z轴方向的厚度遍及整个部分相等或实质上相等。11.如权利要求5所述的加速度传感器，其特征在于，框状梁部的Z轴方向的厚度遍及整个部分相等或实质上相等。12.如权利要求6所述的加速度传感器，其特征在于，框状梁部的Z轴方向的厚度遍及整个部分相等或实质上相等。13.如权利要求1所述的加速度传感器，其特征在于，关于框状梁部的Z轴方向...

【专利技术属性】
技术研发人员：持田洋一，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：JP[日本]