下载基于纯弯梁的光纤光栅加速度计的技术资料

文档序号:2624912

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本发明涉及光纤传感器技术领域,公开了一种基于纯弯梁的光纤光栅加速度计,包括:用作光纤光栅加速度计支撑结构的传感器外壳1;用于测量加速度的光纤光栅2;用于安装光纤光栅2的弹性简支梁3;用于安装弹性简支梁3,且固定在外壳1上的第一支座5和第二支...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。

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