下载晶圆转送校正装置的技术资料

文档序号:26246823

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一种晶圆转送校正装置,主要是在一承置座中央设有一贯通的通孔,在该通孔外周侧环设有一供放置晶圆的环凸缘,在该环凸缘上的局部位置可依需要设有一供晶圆取放机构伸入的凹缺口,且在该环凸缘外周侧凸设一向内延伸的导滑斜面,使晶圆可通过该导滑斜面的导引而...
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