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本实用新型涉及一种硅片承载结构，包括基台，基台上并排设置的第一条形支撑架和第二条形支撑架，第一条形支撑架沿其延伸方向设置有多个第一卡槽，第二条形支撑架沿其延伸方向设置有多个第二卡槽，多个第一卡槽与多个第二卡槽一一对应，第一卡槽包括沿垂直于基...
该专利属于西安奕斯伟硅片技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过西安奕斯伟硅片技术有限公司授权不得商用。

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