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具有漏极选择栅极切口的三维存储器器件及其形成方法技术
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下载具有漏极选择栅极切口的三维存储器器件及其形成方法的技术资料
文档序号:26228209
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公开了3D存储器器件及其形成方法的实施例。在示例中,3D存储器器件包括存储器堆叠层和多个存储器串。存储器堆叠层包括交错的导电层和电介质层。每个存储器串垂直延伸穿过存储器堆叠层。在平面图中,多个存储器串被划分为存储器堆叠层的多个区域。导电层包...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。
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