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本发明公开了一种制备高质量氮化铝模板的方法，主要解决的问题为衬底材料与氮化铝的晶格失配和热失配大，使得氮化铝在衬底材料上的初期形核层结晶质量和表面质量差，且高温存在大量残余应力，导致高密度缺陷和裂纹，对后续制备器件产生极其不利的影响。本发明...
该专利属于奥趋光电技术(杭州)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过奥趋光电技术(杭州)有限公司授权不得商用。

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