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包含声表面波传感器的振荡器电路以及生物传感器设备制造技术
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下载包含声表面波传感器的振荡器电路以及生物传感器设备的技术资料
文档序号:2622138
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本发明提供了一种声表面波传感器内含式振荡器电路,该电路不大可能因为施加偏压而使电极膜分离,并且即使其上粘着液体也能够稳定操作。声表面波传感器内含式振荡器电路31具有形成在压电基片上的叉指式电极33和34,和为了覆盖叉指式电极33和34而形成...
该专利属于株式会社村田制作所所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社村田制作所授权不得商用。
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