包含声表面波传感器的振荡器电路以及生物传感器设备制造技术

本发明专利技术提供了一种声表面波传感器内含式振荡器电路，该电路不大可能因为施加偏压而使电极膜分离，并且即使其上粘着液体也能够稳定操作。声表面波传感器内含式振荡器电路３１具有形成在压电基片上的叉指式电极３３和３４，和为了覆盖叉指式电极３３和３４而形成的反应膜，该反应膜粘着目标物质，或者粘着将要粘着目标物质的粘着材料。能够根据频率变化检测少量质量负荷的声表面波传感器３２作为谐振器，连接在声表面波传感器内含式振荡器电路３１中。隔直流电容器３６和４２串接声表面波传感器３２，隔直流电容器３６和４２在声表面波传感器内含式振荡器电路３１中分别形成阻抗匹配电路。（*该技术在2024年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及包含声表面波传感器的声表面波传感器内含式振荡器电路，所述声表面波传感器被用作例如生物传感器或者气体传感器、谐振器。特别是，本专利技术涉及使用声表面波传感器的声表面波传感器内含式振荡器电路，所述声表面波传感器根据归因于质量负荷的频率变化来检测目标物质；本专利技术还涉及一种使用声表面波传感器内含式振荡器电路的生物传感器设备。
技术介绍
至今人们已经提出了使用声表面波器件的各种声表面波传感器，以便检测不同物质。例如，检测生物材料(如脱氧核糖核酸(DNA)或抗体)的声表面波传感器具有反应膜，该反应膜仅对声表面波器件上的特定生物材料如DNA或抗体起反应。在这样的声表面波传感器中，DNA或抗体对反应膜起反应，并且被粘着(束缚)在反应膜上，以在声表面波器件上加载质量。根据归因于质量负荷的频率变化，检测DNA或抗体的存在或浓度。专利文件1公开了这种类型的声表面波传感器的一个实例。相关技术中公开的声表面波传感器能够检测2-methylisobomeol(2-MIB)，它是水中含有的霉臭体。如图11所示，声表面波传感器101具有叉指式电极103和104，和形成在压电基片102上的金属薄本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种声表面波传感器内含式振荡器电路，具有：压电基片；形成在压电基片上的用于激发声表面波的电极；和反应膜，形成在压电基片上以便覆盖激发声表面波的电极，并且粘着目标物质或者粘着将要粘着目标物质的粘着材料；一个能够根据频率变化检测少量质量负荷的声表面波传感器作为谐振器连接；其中，声表面波传感器内含式振荡电路包括串接声表面波传感器的隔直流电容器；并且在声表面波传感器内含式振荡器电路中形成包含隔直流电容器的阻抗匹配电路。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：冈口健二朗，藤本耕治，门田道雄，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：JP[日本]