温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种同心圆环结构的差动式SiC电容压力传感器及制备方法，传感器的下极板包括内下极板和外下极板；内下极板为圆形，外下极板为与内下极板同心的圆环形；上极板包括内上极板、外上极板和连接板；内上极板为位于内下极板正上方、开口朝下的圆形框体...
该专利属于武汉大学所有，仅供学习研究参考，未经过武汉大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。