温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种用于测试曲面间隙的柔顺式双层电涡流传感器的制备方法，属于传感器技术领域。首先在聚酰亚胺薄膜基底上开孔，在聚酰亚胺薄膜基底正反两个表面以及开孔上分别覆合铜箔，在正面铜箔进行光刻，以开孔为中心形成电涡流线圈，在每个电涡流线圈的一侧...
该专利属于清华大学所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。