【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种，属于传感 器
技术介绍
"柔顺传感器"概念的提出可以追溯到上世纪80年代末期，航空航天器中的许多特 殊结构给传统刚性传感器的安装带来了很大困难。人们希望传感器具有良好的柔顺性能， 不受被测物体形状限制，能够贴附于各种规则或不规则曲面实现正常的传感功能。进入上 世纪90年代以后，美国、法国、日本、瑞士和葡萄牙等国家的科学家开始进行柔顺传感 器的研究工作，许多新型的传感器材料和结构被应用到这一研究领域之中。 .电涡流检测技术是一种无损、无接触测量的检测技术。电涡流传感器具有结构简单， 灵敏度高，测量线性范围大，不受油污等介质的影响，抗干扰能力强等优点。传统的电涡流传感器敏感元件是用漆包线绕制成的线圈。线圈尺寸受温度影响很大且 温度性能较差。同时，绕制的线圈参数差异较大，不宜阵列应用或批量生产。由于制作工 艺的局限，该种线圈结构尺寸较大、容易变形、温度性能差、 一致性差，而且不适用于曲 面测量场合，也不适用于大面积范围内的快速测量场合。也有一些研究，利用印刷电路板 工艺将敏感线圈加工在电路板上面，或者用光刻等微细加工工艺，在硅基底上加工微...
【技术保护点】
一种用于测试曲面间隙的柔顺式双层电涡流传感器的制备方法，包括以下步骤： （１）在聚酰亚胺薄膜基底上开孔，孔径为２５０－３５０μｍ； （２）在聚酰亚胺薄膜基底正反两个表面以及开孔上分别覆合铜箔，聚酰亚胺薄膜的厚度为１００μｍ－２００μｍ，铜箔的厚度为１５μｍ－２０μｍ； （３）在上述正面铜箔进行光刻，以上述开孔为中心形成电涡流线圈，在每个电涡流线圈的一侧形成外引线，在上述反面铜箔进行光刻，在上述开孔之间形成内引线，得到上层电涡流传感器； （４）重复步骤（１）、（２）和（３），得到下层电涡流传感器； （５）用密封胶使上述上、下层电涡流传感器相互粘结，得到双层电涡流传感器，粘结时...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：丁天怀，王鹏，胡颖，
申请(专利权)人：清华大学，
类型：发明
国别省市：11[中国|北京]
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