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本实用新型公开了一种旋转密封装置，涉及晶圆加工技术领域。包括座体与旋转轴，所述旋转轴贯穿设置于座体内，所述旋转轴位于座体左端内部的一段从左至右依次套装有第一油封、轴环、第二油封及第一轴承。该旋转密封装置，在使用时，通过真空吸盘吸住晶圆，利用...
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