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光检测装置及其光检测方法制造方法及图纸
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文档序号:26181180
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一种光检测装置包括半导体衬底。第一锗基光吸收材料由半导体衬底支撑并且被配置成吸收具有大于800nm的第一波长的第一光信号。第一金属线被电耦合到第一锗基光吸收材料的第一区。第二金属线被电耦合到第一锗基光吸收材料的第二区。第一区是未掺杂的或被掺...
该专利属于奥特逻科公司所有,仅供学习研究参考,未经过奥特逻科公司授权不得商用。
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