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本公开涉及一种用于加速制作过程模型的校准的方法，该方法包括执行以下的一次或更多次迭代：定义一个或更多个制作过程模型项；接收与所述一个或更多个制作过程模型项有关的预先确定的信息；基于所述预先确定的信息生成制作过程模型，所述制作过程模型被配置为...
该专利属于ASML荷兰有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过ASML荷兰有限公司授权不得商用。

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