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一种用于定位结构的定位系统包括致动器和控制单元，该控制单元响应于由控制单元接收的位置设定点来控制致动器。致动器包括磁体组件以及线圈组件，该磁体组件包括被配置为提供磁通量的磁体，其中线圈组件和磁体组件相对于彼此可移动，线圈组件包括线圈，线圈的...该专利属于ASML荷兰有限公司;卡尔蔡思SMT有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过ASML荷兰有限公司;卡尔蔡思SMT有限责任公司授权不得商用。