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本公开实施例提供半导体装置与其形成方法。在一实施例中,半导体装置包括鳍状物自基板延伸;栅极结构位于通道区上;第一间隔物,沿着栅极结构的下侧部分的侧壁延伸;以及第二间隔物,沿着栅极结构的上侧部分的侧壁延伸。鳍状物包括通道区以及与通道区相邻的源...该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。
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本公开实施例提供半导体装置与其形成方法。在一实施例中,半导体装置包括鳍状物自基板延伸;栅极结构位于通道区上;第一间隔物,沿着栅极结构的下侧部分的侧壁延伸;以及第二间隔物,沿着栅极结构的上侧部分的侧壁延伸。鳍状物包括通道区以及与通道区相邻的源...