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本发明涉及一种X射线平板探测器及其制备方法。方法包括：在第一通孔阵列表面沉积一层反射膜；在反射膜表面旋涂一层光刻胶，经过曝光显影后仅将通孔外部反射膜暴露出来；刻蚀掉通孔外部反射膜，剥离通孔内部反射膜表面的光刻胶；将闪烁体填充至剥离光刻胶后的...
该专利属于上海大学所有，仅供学习研究参考，未经过上海大学授权不得商用。

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