下载三维半导体存储器件的技术资料

文档序号:26176073

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一种三维(3D)半导体存储器件包括:第一半导体层和第二半导体层,彼此水平地间隔开;掩埋绝缘层,在第一半导体层和第二半导体层之间;设置在第一半导体层上的第一单元阵列结构和设置在第二半导体层上的第二单元阵列结构;以及隔离结构,设置在第一单元阵列...
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