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一种针对鳍式场效应晶体管制程的新型阱型电阻结构制造技术
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下载一种针对鳍式场效应晶体管制程的新型阱型电阻结构的技术资料
文档序号:26176060
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本发明提供了一种针对鳍式场效应晶体管制程的新型阱型电阻结构,通过对P型衬底进行不同的掺杂,形成不同的区域,例如N阱、P阱和深N阱,并合理设置N阱、P阱和深N阱的相对位置,实现了鳍式场效应晶体管制程中的多种新型阱型电阻结构。...
该专利属于泉芯集成电路制造(济南)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过泉芯集成电路制造(济南)有限公司授权不得商用。
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