下载一种针对鳍式场效应晶体管制程的新型阱型电阻结构的技术资料

文档序号:26176060

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本发明提供了一种针对鳍式场效应晶体管制程的新型阱型电阻结构,通过对P型衬底进行不同的掺杂,形成不同的区域,例如N阱、P阱和深N阱,并合理设置N阱、P阱和深N阱的相对位置,实现了鳍式场效应晶体管制程中的多种新型阱型电阻结构。...
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