下载三维封装的半导体结构的技术资料

文档序号:26176034

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本发明涉及一种三维封装的半导体结构,包括:相互键合的第一半导体结构和第二半导体结构;所述第一半导体结构包括第一衬底,设置在所述第一衬底上的一个或多个逻辑器件,位于所述一个或多个逻辑器件上方的第一键合面,贯穿所述一个或多个逻辑器件的第一通孔结...
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