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提供了一种管芯边缘裂纹监测系统。裂纹监测系统包括裂纹传感器，其设置在半导体管芯的边缘区域中以检测裂纹传感器中的电短路。...
该专利属于爱思开海力士有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过爱思开海力士有限公司授权不得商用。

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