下载一种具备微流道散热功能的扇出型器件及其制作方法的技术资料

文档序号:26176000

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本发明公开一种具备微流道散热功能的扇出型器件及其制作方法,属于集成电路封装技术领域。扇出型器件包括粘接体和联接体,粘接体包括微流道和与其通过粘接层连接的有源芯片;联接体设置在所述粘接体四周,与所述粘接体形成扇出体。本发明将微流道与有源芯片通...
该专利属于中国电子科技集团公司第五十八研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国电子科技集团公司第五十八研究所授权不得商用。

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