下载存储器、单元接触结构及其制造方法的技术资料

文档序号:26175977

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本公开是关于一种单元接触结构的制造方法、单元接触结构以及存储器。该单元接触结构的制造方法包括:在衬底上形成介质层,在所述介质层中形成阵列状的单元孔洞,所述孔洞底部暴露所述衬底;在所述孔洞内的所述衬底的表面上形成半导体层,所述半导体层远离所述...
该专利属于长鑫存储技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过长鑫存储技术有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。