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一种搬运装置及其应用的搬运系统以及搬运系统的预测保养方法。搬运装置包含行驶元件、夹具以及减震元件。行驶元件用以移动于轨道上。夹具连接该行驶元件用以夹取晶圆载具。减震元件固定于行驶元件朝向该夹具的一侧，其中减震元件包含弹簧。...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

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