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本发明公开了一种负压吸附式转移晶舟，包括舟体，所述舟体上成型有半圆槽道、设置在半圆槽道下方的真空腔、连通半圆槽道与真空腔的多个线性均布的矩形孔，半圆槽道内设有多个左右方向均布的隔离板，所述隔离板包括固定连接的基板和吸附板，基板和吸附板形成一...
该专利属于赣州市业润自动化设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过赣州市业润自动化设备有限公司授权不得商用。

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