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本申请案涉及用于衬底容器的吹扫连接器及模块。所述衬底容器包含板、壳体、连接器及密封件，其中所述连接器经由螺母螺合及紧固，且所述密封件接触所述壳体、所述板及所述连接器中的每一者。所述板具有容纳所述连接器的端及所述螺母的凹部。包含止回阀的可现场...
该专利属于恩特格里斯公司所有，仅供学习研究参考，未经过恩特格里斯公司授权不得商用。

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