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本申请提供了一种晶圆缺陷的检测方法、检测系统和计算机可读存储介质。该方法包括：晶圆缺陷的检测系统接收光刻机台生成的检测数据，检测数据包括晶圆的缺陷信息，晶圆缺陷的检测系统将检测数据转换为预定格式，预定格式为晶圆缺陷的检测系统的数据的标准格式...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。

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