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本发明提供一种反应腔室及半导体设备，包括介质筒和环绕在介质筒周围的线圈，在线圈内设置有冷却通道，冷却通道用于通入冷却介质，通过冷却介质来对介质筒进行冷却。本发明提供的反应腔室及半导体设备能够对介质筒进行冷却，从而避免衬底糊胶的情况发生，提高...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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