下载一种离子注入机的水冷式离子输送管的技术资料

文档序号:26175825

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本发明公开了一种离子注入机的水冷式离子输送管,包括外管、内管和两个管接头,外管包括一体成型的第一弧形管和分别设置在第一弧形管两端的两个第一直管;内管包括一体成型的第二弧形管和分别设置在第二弧形管两端的两个第二直管;管接头成型有直径依次减小的...
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